ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС КГ-MEIS НИИЯФ МГУ: первые результаты

Для исследования поверхностных нано- и субнанослоев в НИИЯФ МГУ создан
экспериментальный комплекс КГ-MEIS, который объединил в себе ускоритель КГ-500 и
камеру MEIS, оснащенную тороидальным электростатическим анализатором с детектором
на основе микроканальных пластин и специального позиционно-чувствительного
коллектора. Данный экспериментальный комплекс позволит использовать метод
спектроскопии ионов средних энергий (Medium Energy Ion Spectrometry, MEIS),
основанный на принципе резерфордовского обратного рассеяния (РОР) и исследовать
поверхность образцов с разрешением порядка одного ангстрема. В работе дано описание
всех узлов экспериментального комплекса, а так же описание и анализ результатов первых
экспериментов.

Номер документа: 2007 - 1/822

Авторы: Черных П.Н., Иферов Г.А., Куликаускас В.С., Черныш В.С., Чеченин Н.Г., Чуманов В.Я.

Email: [email protected], [email protected] , [email protected]

Размер файла: 1.78 МБ, последнее обновление 23.11.2012 17:16